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早期的测量仪使用液氮，如果每次使用要消耗的液氮，也十分的不防---。在电制冷硅漂探测器出现以后，就成为了rohs检测仪的主流，尽管相对于液氮其灵敏度要低一点，但是并不影响使用。其实上述两种检测仪对轻量元素的检测灵敏度都有一些欠缺。于是后来又推出了新的电制冷测量仪，提高了对轻量金属元素的灵敏度，同时还能测量像硅一类的非金属元素。